無塵室防護標準

第一章         概述
1.1范圍
    此標準適用于所有本篇所定義之無塵室及潔凈區(qū)之半導(dǎo)體廠。
1.2目的
    本標準旨在提供無塵室避免火災(zāi)及相關(guān)危害合理的安全防護,而這些防護措施可避免或減少  人員及財產(chǎn)之損害。
1.3應(yīng)用
    此標準所考慮是以合理的預(yù)防火災(zāi)及爆炸,避免造成人員傷亡及財產(chǎn)之損害,此時所需考慮之 環(huán)境狀況及活動狀態(tài)為本標準所討論之重點;除非其它地方有所規(guī)范,否則本標準不用于要求已經(jīng)安裝完成設(shè)備除非在該狀態(tài)下已造成生命危害或鄰進近地區(qū)之財產(chǎn)損失。
1.4名詞定義
§高架地板系統(tǒng)(Access Floor System)
        配電盤架設(shè)于基座上以提供地面下空間供安裝機械通訊或作為供風(fēng)或回風(fēng)空間。
§管轄權(quán)(Authority Having Jurisdiction)
       組織部門或個人負責(zé)對設(shè)備安裝或制程之認可,在NFPA, 管轄權(quán)會隨區(qū)域有所變化,可能是聯(lián)邦,州,地區(qū)或地區(qū)部門,或個人可能是消防首長,副首長,州消防局長機動小組或衛(wèi)生局營建部門及其它經(jīng)法律授權(quán)的單位。保險公司亦有檢查權(quán),原設(shè)計或擁有者亦有此權(quán)利。

§潔凈區(qū)(Clean Zone)
      定義為區(qū)間內(nèi)之空氣中之灰塵粒子濃度控制在一定的范圍內(nèi)。

§無塵室(Clean Room)
      定義為房間內(nèi)之空氣中之灰塵粒子濃度控制在一定的范圍內(nèi)。

§壓縮氣體(Compressed Gas)
      于容器中之任何氣體或混合氣體其在70OF(21.1℃)時,絕對壓力大于40psi(275.8Kpa);或在
70 OF時絕對壓力小于40psi,但在130OF(54.4℃)時其壓力大于104psi;或易燃性氣體在100 OF
(37.8℃)時,其蒸氣壓大于40psi稱為壓縮氣體。