無塵室有多清潔？《凈化技術》

無塵室有多清潔？ （供大家參考）制造芯片需要使用多種有毒溶劑和重金屬。馬里蘭大學醫(yī)學院毒理學教授BruceFowler說，盡管工藝一直在改進，但有些要求還是必須滿足的。
        Fowler教授一直在致力研究芯片生產(chǎn)中使用重金屬的毒性影響。他說："（不管工藝怎么改變），你需要的仍然是干凈的芯片。"這就意味著要使用各種重金屬和溶劑。在最后改變硅的電子性能的工序中，需要用到重金屬。職業(yè)健康問題的核心是無塵室。盡管半導體生產(chǎn)要求無塵環(huán)境，批評家們卻認為從某些角度來說，無塵室并不潔凈。"工程技術人員設計無塵室的唯一目的是為了降低無塵室內(nèi)空氣中的顆粒灰塵含量，"加利福尼亞大學舊金山分校職業(yè)醫(yī)學臨床教授、國際職業(yè)醫(yī)學中心主任JoeLaDou說，"實際上，無塵室內(nèi)所有的空氣都是循環(huán)空氣。
     無塵室內(nèi)任何時候都有十幾種甚至更多的有機溶劑。各種煙霧和蒸汽源源不斷地進入無塵室，而且又未被濾除。"LaDou認為這樣的后果是"無塵室成了以人類為對象的化學暴露實驗室。 半導體工業(yè)協(xié)會（Semiconductor IndustryAssociation, SIA）公關主任MollyTuttle則認為情況并不是這么糟。"半導體制造工業(yè)的設計保證對所有可能會構成重大危害的化學物質或氣體進行隔離，使工人不與其接觸或不受到不安全的暴露厖即使有少量安全劑量的化學物質進入無塵室，也會被迅速稀釋并排出。其結果是無塵室內(nèi)空氣環(huán)境的新鮮空氣交換水平高于大多數(shù)室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境。"盡管有些觀察家對懷疑大型半導體公司是否對職業(yè)健康進行檢查，但外界審查和同行評議的報告非常鮮見。
       1992年進行的幾項研究中，其中有一項研究是由SIA贊助、加利福尼亞大學戴維斯分校研究人員負責，他們發(fā)現(xiàn)女工占絕大多數(shù)的無塵室工作人員流產(chǎn)率增加。原因是半導體公司在芯片生產(chǎn)中使用了一種名為乙二醇醚(glycolethers)的溶劑。此后，美國半導體工業(yè)很快就淘汰了這一類化學物質。(見Where the Chips Fall:Environmental Health in the Semiconductor Industry)EHP107:A452-A457[1999]）。 
    無塵室內(nèi)的臟活。大多數(shù)健康風險來源于無塵室。無塵室內(nèi)的工人每天都要接觸有毒化學物質。image credit: Digital Vision自此以后，針對這一行業(yè)的流行病學研究極少或根本沒有開展。位于Lowell市的麻薩諸塞大學工作環(huán)境系主任、SIA工作場所癌癥科學顧問委員會主席DavidWegman說，"我們進行文獻檢索時，根本就找不到任何與半導體行業(yè)癌癥風險直接相關的研究。"該委員會2001年10月份的《半導體芯片生產(chǎn)工人的癌癥風險》（Cancer Risk Among Wafer FabricationWorkers in the SemiconductorIndustry)報告摘要指出，這個科學顧問委員會是于1999年為了"根據(jù)對現(xiàn)有信息的分析，對半導體的芯片生產(chǎn)工人可能面臨的癌癥風險進行評估"而成立的。報告得出結論，尚沒有"確鑿證據(jù)"可以證明從事晶片生產(chǎn)會增加癌癥風險。但該報告指出，"目前尚沒有足夠的證據(jù)可得出工作場所暴露厖沒有或者不會造成一種或多種癌癥風險顯著增加的結論。
      "Wegman說，SIA科學顧問委員會建議半導體工業(yè)協(xié)會立即開展半導體工人的癌癥研究，包括可行性研究和流行病學研究。然而，Tuttle表示半導體工業(yè)協(xié)會傾向于先進行可行性研究，然后再制定進一步的計劃。他說，"我們正在開展可行性研究，然后再根據(jù)研究數(shù)據(jù)決定是否有必要開展全面的流行病學調(diào)查。我們所關心的主要問題是要盡量保證為我們的員工提供最佳的健康和安全水平。"Tuttle還說，"雖然我們并不是受成本支配，但成本顯然是一個很重要的因素。"這一決定令科學顧問委員會感到失望。他們認為，將研究的兩個階段拆開會推遲上述調(diào)查研究的開展，并妨礙研究人員參與調(diào)查實施的競爭。另一份關于半導體工業(yè)癌癥的調(diào)查報告來源于負責工作場所健康和安全的英國健康安全局（HSE）。和半導體工業(yè)協(xié)會的研究報告一樣，該報告也呼吁開展進一步的研究，但沒有證明存在健康損害。
        2001年12月份，英國健康安全局公布了《Greenock國家半導體（英國）公司在職和以往職工癌癥狀況報告》(Cancer Among Current and Former Workers at National Semiconductor(UK) Ltd,Greenock)。該報告指出，蘇格蘭Greenock國家半導體（英國）公司以往職工有四類癌癥的患病率過高。該報告明確的四類癌癥中，只有其中一種具有統(tǒng)計學顯著性--婦女的肺癌患病率。但是，研究人員并未調(diào)查這些婦女是否吸煙，而90%的肺癌是與吸煙有關的。
     盡管英國健康安全局無法確認這一增長是否因工作場所暴露造成的，但該報告仍然稱調(diào)查結果"進一步證實了人們的擔憂。此次調(diào)查研究的發(fā)現(xiàn)，特別是與肺癌相關的發(fā)現(xiàn)，應予以認真對待。"國家半導體公司認為調(diào)查報告結果對他們來說是好消息。"英國健康安全局的調(diào)查未發(fā)現(xiàn)Greenock員工癌癥風險增加的科學證據(jù)，這一事實使我們甚感欣慰。"公司新聞發(fā)言人LuAnnJenkins說。 但是，Greenock半導體工業(yè)二期受害工人支持小組協(xié)調(diào)員JimMcCourt對HSE的調(diào)查結果并不滿意。除了未對生活方式進行調(diào)查之外，他指出，調(diào)查人員還漏掉了清潔工。他們所從事的工作最臟，但由于受雇于承包的清潔公司，他們并不是國家半導體公司的員工，所以，不在本次調(diào)查研究的范圍內(nèi)。（Jenkins對此進行了反駁，稱清潔工大部分是公司的員工，而不是合同工，事實上，健康安全局的調(diào)查已經(jīng)將他們包含進去。）盡管如此，McCourt仍然承認健康安全局的調(diào)查"已經(jīng)朝前邁進了一步，而且結果（發(fā)現(xiàn)癌癥患病率升高）也很值得引起警惕。"科學研究的匱乏和研究結果的模棱兩可也許是出于政治、經(jīng)濟和科學等多方面的原因。半導體工業(yè)越來越多地將半導體生產(chǎn)外包給合同生產(chǎn)廠家。
    這些生產(chǎn)廠家大部分并不為公眾所知，在職業(yè)健康問題上受公眾壓力影響相對較小。由于缺乏聯(lián)盟組織，我們失去了一個關于職業(yè)健康問題的潛在數(shù)據(jù)來源。批評家們認為，作為發(fā)展中國家的一個重要產(chǎn)業(yè)，半導體生產(chǎn)廠家具有較強的政治影響力，阻礙了科學研究的開展。Fowler說："盡管[員工個體]的職業(yè)健康已得到改善，但是，美國的情況應區(qū)別對待，因為美國已經(jīng)形成了一套關于職業(yè)暴露的標準。但是，發(fā)展中國家并沒有職業(yè)安全和健康管理局之類的機構，[半導體工業(yè)]所做的就是將生產(chǎn)加工轉移到發(fā)展中國家。"研究工作本身也很復雜。英國和半導體工業(yè)協(xié)會的研究注重的是癌癥，而半導體工業(yè)使用的某些化學物質可能會毒害神經(jīng)系統(tǒng)或生殖系統(tǒng)。
    盡管按傳統(tǒng)制造業(yè)安全措施標準衡量，半導體工業(yè)已經(jīng)做得相當不錯，但職業(yè)病卻是另一碼事。LaDou引用了一組數(shù)字，將職業(yè)病數(shù)量與所報告的全部疾病與傷害數(shù)量進行了對比：根據(jù)美國勞動統(tǒng)計局提供的數(shù)據(jù)，2000年，職業(yè)病占制造業(yè)所報告全部疾病與傷害的12.7%。在半導體及相關設備工業(yè)，這一比例是22.5%。所受到的暴露情況也異常復雜："研究完半導體工業(yè)，你基本上可以寫一本關于職業(yè)病學和毒理學的教科書了，"LaDou說，"各種傳統(tǒng)暴露幾乎都齊了，從人機工程學和照明到電離和非電離輻射，無所不包；從溶劑散發(fā)的煙霧至攙雜劑的揮發(fā)物，無所不含厖其中，有許多是已知致癌物和生殖系統(tǒng)毒物。"科學顧問委員會最近進行的研究發(fā)現(xiàn)，半導體工業(yè)使用的幾百種化學物質中，有26中--包括砷和六價鉻--屬于確定致癌物、很可能致癌物或可能致癌物。
    從職業(yè)健康的角度來說，真正的問題是，這些化學物質是否正在危害員工的健康?？茖W顧問委員會研究人員作出結論，采用標準的對毒物逐一進行危險度評價的方法并不能"充分回答晶片生產(chǎn)中的癌癥危險度問題。"然而，要對多物質暴露進行危險度評價又極其困難。而且，Wegman說，由于潛在化學暴露種類很多，再加上以前發(fā)現(xiàn)的與工作相關的流產(chǎn)風險，科學顧問委員會認為，癌癥不應該是研究的唯一對象。
    因此，他們建議繼續(xù)開展現(xiàn)行的衛(wèi)生監(jiān)測活動并給予支持，將其作為職業(yè)病的早期預警系統(tǒng)。有些批評家提出，調(diào)查研究的缺乏也許反映了半導體行業(yè)不愿探究職業(yè)健康問題的態(tài)度，因為其生產(chǎn)技術的設計并沒有將這一問題納入他們的考慮之內(nèi)。"他們設計了一流的生產(chǎn)車間，卻忽視了車間內(nèi)工人的健康和安全，"LaDou指出，"要跳出這個框框，唯一的辦法就是將生產(chǎn)制造轉移到發(fā)展中國家，并將生產(chǎn)外包給管制環(huán)境較為寬松、幾乎和地下工廠一樣的制造廠。這也就是為什么發(fā)表的調(diào)查報告數(shù)量如此之少的原因。"可是，Tuttle卻認為"半導體工業(yè)協(xié)會已經(jīng)作出了很大努力，在未來工藝、設備和無塵室的設計中將形成并包含了環(huán)境、安全和健康解決方案。
      我們只能期待，有朝一日，一項計劃周密并能被廣泛接受的關于芯片制造業(yè)環(huán)境和職業(yè)健康領域的調(diào)查研究能夠得以順利實施。這一天正在緩慢到來。但在此之前，半導體工業(yè)和批評家們之間尖銳而激烈的爭論還將繼續(xù)。

資訊來源：凈化工程網(wǎng)