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發(fā)表日 :2009-9-11 16:47:44
IMEC的8吋晶圓無塵室產(chǎn)能已經(jīng)滿載邁向18吋晶圓時代
 作者 : 管理員
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IMEC的8吋晶圓無塵室產(chǎn)能已經(jīng)滿載邁向18吋晶圓時代
發(fā)布時間: 2009-2-6 9:28:04
 
     歐洲研究機構(gòu)IMEC計劃擴充其12吋旗艦晶圓廠以提升產(chǎn)能,并計劃在2010年出開始提供試產(chǎn)用的超紫外光微影 (extremeultravioletlithography)工具。該研究機構(gòu)的總裁暨執(zhí)行長GilbertDeclerck亦透露,IMEC位于比利時Leuven的辦公據(jù)點與制造產(chǎn)能擴充,是為了迎接18吋晶圓時代所做的準備。
 
    Declerck補充表示,IMEC的8吋晶圓無塵室產(chǎn)能已經(jīng)滿載,12吋晶圓無塵室則接近滿載。該機構(gòu)持續(xù)擴充其尖端技術(shù)能力,除了是要追隨摩爾定律(Moore’sLaw)朝更細微制程節(jié)點邁進,所正在進行的系統(tǒng)級封裝(system-in-packaging)、3D芯片、微機電系統(tǒng)(MEMS)、生物科技與光電科技研究,也都需要更大的活動空間。
    
    他表示,如此的策略是由IMEC的董事會與該機構(gòu)位于各地區(qū)的據(jù)點所共同決定的,IMEC近期會公布詳細的擴充與投資計劃。目前IMEC在荷蘭Eindhoven的HolstCenter以及臺灣新竹,各有一個附屬研發(fā)據(jù)點。
 
                                                                   資訊來源: 中國凈化工程網(wǎng)
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